光刻机工作原理 你知道吗
1、测量台、曝光台:是承载硅片的工作台。
2、激光器:也就是光源,光刻机核心设备之一。
3、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。
4、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。
5、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。
6、遮光器:在不需要曝光的时候,阻止光束照射到硅片。
7、能量探测器:检测光束最终入射能量是否符合曝光要求,并反馈给能量控制器进行调整。
8、掩模版:一块在内部刻着线路设计图的玻璃板,贵的要数十万美元。
9、掩膜台:承载掩模版运动的设备,运动控制精度是nm级的。
10、物镜:物镜用来补偿光学误差,并将线路图等比例缩小。
11、硅片:用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸,尺寸越大,产率越高。题外话,由于硅片是圆的,所以需要在硅片上剪一个缺口来确认硅片的坐标系,根据缺口的形状不同分为两种,分别叫flat、 notch。
12、内部封闭框架、减振器:将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界振动干扰,并维持稳定的温度、压力。
-
人生蹉跎的意思
人生蹉跎的意思指的是在一生中浪费了时间,没有实现自己的潜力或追求自己的理想。这个词通常用来形容那些过着平庸或毫无意义的生活、没有实现自己的目标或梦想的人。人们常常感到遗憾,觉得自己没有充分利用时间和机会,导致人生的蹉跎。...
-
货币符号怎么输入
货币符号可以通过不同的方式输入,具体取决于你使用的设备或软件。以下是一些常见的输入方法:1.使用符号键盘:在计算机或手机键盘上,可以通过按下“Shift”键加上逗号(,)或句点(.)来输入货币符号。一般来说,货币符号位于数字键盘的顶部,通常与数字键0或9相邻。2.使用特殊...
-
大理石桌面污渍怎样去除
要去除大理石桌面上的污渍,可以采取以下步骤:1.拭去污渍:用温水和中性清洁剂擦拭大理石表面,以去除一般的污渍。可以使用柔软的布或海绵进行擦拭,避免使用粗糙的材料,以免刮伤表面。2.去除顽固污渍:对于顽固的污渍,可以尝试混合小苏打和水制成的糊状物。将糊状物涂在污...
-
化疗后怎样增加白细胞
化疗后,白细胞可能会下降,这被称为白细胞减少。增加白细胞可以通过以下方法实现:1.遵循医生的指导:遵循医生关于治疗计划、药物使用和饮食等方面的建议是非常重要的。医生通常会监测患者的血液指标,并在必要时调整药物剂量。2.充足休息:好的休息可以增强身体的康复能...